- 2台の検査カメラによるボール「抜け」「余剰」「位置ズレ」の高速検査が可能
- 2種類のリペアに対応
- ボール抜け：フラックス塗布、ボール搭載
- 余剰球：吸着除去
- 自動キャリブレーション機能搭載
- SECS/GEM、OHT、AGVに対応（オプション）
特徴
基本仕様
| ウェハサイズ | 8、12インチ |
|---|---|
| ボール径 | φ50[μm] ~ φ300[μm] |
| 最小ボールピッチ | 90[μm]（φ50[μm]ball） |
| 機械アライメント精度 | ±15[μm] |
| 外形寸法（W×D×H） | 3,065×1,700×1,650[mm] |
| 重量 | 約2,900[kg] |
| ローダ、アンローダ | オープンカセット、FOUP対応 |
