- 独自のボール搭載方式により、高速で安定したボール搭載が可能
- シンプルな機構でメンテナンスを簡易化
- シリコンウェハ、モールドウェハに対応
- 最適化されたボール投入方式で、無駄のない高効率なボール使用を実現
- SECS/GEM、OHT、AGVに対応（オプション）
特徴
基本仕様
| ウェハサイズ | 8、12インチ |
|---|---|
| ボール径 | φ50[μm] ~ φ300[μm] |
| 最小ボールピッチ | 90[μm]（φ50[μm]ball） |
| 機械アライメント精度 | ±25[μm] |
| 外形寸法（W×D×H） | 3,595×1,650×1,650[mm] |
| 重量 | 約2,600[kg] |
| ローダ、アンローダ | オープンカセット、FOUP対応 |
