- 業界で初めてのリール供給対応COF超音波ボンダ
- 超音波接合の特徴を生かした高スループット
- ヘッドの自動クリーニング機構装備
- オプションでボンディング前のディスペンスヘッドの設置が可能
特徴
基本仕様
| テープ幅 | 35[mm]、48[mm]、70[mm] |
|---|---|
| チップサイズ | 1×10 ~ 4×25[mm] |
| 加圧荷重 | 10 ~ 200[N] |
| 搭載精度 | ±3[μm]（3σ） |
| 搭載ヘッド | 超音波ホーン（コンスタントヒータ RT ~ 250[℃]） |
| 搭載ステージ | コンスタントヒータ RT ~ 150[℃] |
| 外形寸法（W×D×H） | 2,900×1,500×1,950[mm] |
| 重量 | 約2,400[kg] |
